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对小体积样品材料力学性质进行定量化测试的关键技术。
拉曼光谱用来测试材料应力,掺杂浓度和sheet& pattem等。从散射光的能量转移,强度和偏振等方面可以获取样品丰富信息,如:结晶取向,组分,机械应力,掺杂和温度变化等。
原子力显微镜使用非常小的探针,扫描样品表面,在原子尺度探测样品形貌。Semilab的AFM设备,可灵活配置和测试,具备优异测试稳定性和可靠性。
iSR是一种微光斑测试技术,用于实时刻蚀和Halftone工艺中的厚度测试
光谱型椭偏仪是多功能薄模测试系统,适合各种薄材料的研究。
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